高精度Z轴滑台
紧凑、薄型、高重复性设计
标配纳米级光栅,双向重复精度为100nm
全行程绝对位置定位,无需回零
配备SMD高集成控制器,达到极致便携应用
适用于半导体、工业及科研中扫描、点到点应用
极具性价比的纳米级定位平台
均有独立可靠的精度检验认证报告
紧凑、薄型、高重复性设计
标配纳米级光栅,双向重复精度为100nm
全行程绝对位置定位,无需回零
配备SMD高集成控制器,达到极致便携应用
适用于半导体、工业及科研中扫描、点到点应用
极具性价比的纳米级定位平台
均有独立可靠的精度检验认证报告