NLS-150精密位移台
紧凑、薄型、高重复性设计
标配纳米级光栅，双向重复精度为100nm
全行程绝对位置定位，无需回零
配备SMD高集成控制器，达到极致便携应用
适用于半导体、工业及科研中扫描、点到点应用
极具性价比的纳米级定位平台
均有独立可靠的精度检验认证报告
产品规格
| 产品名称 | NLS-50 | NLS-100 | NLS-150 |
| 行程范围 | 50mm | 100mm | 150mm |
| 最大速度 | 15mm/s | 15mm/s | 15mm/s |
| 最小位移量 | 50nm | 50nm | 50nm |
| 中心负载能力 | 150N | 150N | 150N |
| 轴向负载能力 | 25N | 25N | 25N |
| 双向重复精度 | ±0.10 µm | ±0.10 µm | ±0.10 µm |
| 精度 | ±0.30 µm | ±0.30 µm | ±0.30 µm |
| 原点重复精度 | ±0.050 µm | ±0.050 µm | ±0.050 µm |
| 重量 | 2kg | 2kg | 2kg |
